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设计人员在设计时应充分考虑洁净室的特点,严格控制防火分区,使之达到规范要求,我国现行消防技术规范已对洁净室防火分区提出了明确的要求,规定甲、乙类生产的洁净室宜为单层,其防火分区很大允许建筑面积,单层厂房宜为3000平方米,多层厂房宜为2000平方米;丙、丁、戊类生产的洁净室其防火分区很大允许建筑面积应符合现行<建筑设计防火规范>的规定。除此以外,我们还应---注意洁净室的顶棚和壁板、洁净生产区与一般生产区间的隔断以及技术竖井等部位的防火处理,要求其必须采用不燃烧体材料,且耐火---要达到相应技术规范的要求。
洁净车间是一个多功能的综合体,洁净车间工程是一个多学科、多领域、综合性的工程。由于洁净车间工程技术难度高,工程造价大,因此,宣威洁净室地面批发,在实施洁净工程时,一直注重洁净车间的设计。清洁车间的设计一般应遵循“三不一要”的原则。
一、不带入:不向洁净车间带入任何灰尘。
遵循这个原则,洁净车间设计时,应做好如下的工作:
1、过滤器正确安装,不会出现灰尘泄漏的情况。
2、保持洁净车间相对于室外的正压,只能让室内的污染空气出去,不能让室外的空气通过缝隙进入洁净车间。
3、人员进入洁净车间之前,必须做好清洁工作,更换洁净服,宣威洁净室地面厂家,并经过风淋室风淋,宣威洁净室地面,如此方可进入。
4、材料与设备经清洁后方可进入洁净车间。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积---级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积---级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的ffu循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性---,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能---地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业ffu循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。
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